省實驗室是全省科技創新體係的重要組成部分,是國家實驗室的預備隊和河南省各類創新基地的先鋒隊。龍門實驗室成立一年來,建立“企業出題+實驗室答題”的創新模式,力推創新鏈與產業鏈“無縫對接”。效果如何呢?
洛陽中矽高科有限公司研發中心研發主管 先進集成電路晶圓用多晶矽材料課題負責人 陳輝:矽的純度我們要達到11個“9”,如果有金屬雜質的話,它對下遊的燒製壽命、拉晶、晶體應用的話會有一定的影響...
11個“9”是什麼?是電子級多晶矽的純度;下遊在哪兒?在單晶矽生產企業;單晶矽的下遊應用就是芯片了。作為芯片製造的關鍵原材料,電子級多晶矽也是龍門實驗室聯合上下遊企業闖關的重點。
龍門實驗室智能裝備先進材料科創中心主任 潘昆明:電子級多晶矽,它的純度達到99.999999999%,就11個9,它這個難度、這個純度要求是非常非常高的。在這個項目之初,像電子級多晶矽原材料主要是從美國、德國、日本、主要是進口,這樣的話我們就受製於人。
作為生產多晶矽的龍頭企業,中矽高科從2015年至今都在進行科研攻關,走了7年的彎路,一直卡在多晶矽原材料氫氣和三氯氫矽的提純上,產品質量也不穩定。
洛陽中矽高科有限公司研發中心研發主管 先進集成電路晶圓用多晶矽材料課題負責人 陳輝:對於半導體來說的話,我們大概有110多duo道dao工gong序xu做zuo成cheng芯xin片pian,它ta這zhe個ge驗yan證zheng周zhou期qi也ye比bi較jiao長chang,至zhi少shao在zai一yi年nian到dao一yi年nian半ban的de時shi間jian。這zhe樣yang整zheng體ti上shang包bao括kuo一yi個ge浪lang費fei和he一yi個ge質zhi量liang的de不bu可ke控kong,所suo以yi說shuo我wo們men一yi定ding要yao在zai原yuan材cai料liao這zhe邊bian要yao絕jue對dui的de穩wen定ding,在zai前qian端duan是shi非fei常chang非fei常chang關guan鍵jian的de。
去年三月,龍門實驗室的誕生給企業帶來了希望。龍門實驗室成立了五大科創中心,集中從中矽高科、中信重工等重點企業,搜集挖掘了產業“卡脖子”需求80項、關鍵技術“堵點”780個,按照“成熟一項,啟動一項”的原則,僅僅一個月就開啟了“先進矽基光電功能材料”等重大項目課題。
龍門實驗室“先進矽基光電功能材料”項目聯絡員 任永鵬:woshizhegeketidelianluoyuan,wozuoweiyigeniudai,wojiyouzhongguigaokedechuruzheng,woyeshilongmenshiyanshiderenyuan。ranhouwomenmonitaderelixuehefanyingdonglixue,zaijisuanjizhongkeyihendichengben、很快速度地去模擬這個實驗,然後就不需要反反複複花大量成本、人力物力去做這個實驗,直接就推進我們這個實驗的進度。
洛陽中矽高科先進集成電路晶圓用多晶矽材料課題負責人 陳輝:我們在實際操作上麵可能是更熟悉一些,但是對理論知識、基礎知識的一些研究和研發的話還不足,所以說剛好的話彌補我們的短板。
人才共用、優勢互補,龍門實驗室36人的博士團隊對多晶矽原材料純化等進行了一次又一次的模擬實驗,終於,去年10月,原料提純難題被攻克。目前,正在為年產300噸電子級多晶矽產業化示範線投產做準備。
洛陽中矽高科有限公司研發中心高級研發工程師 袁振軍:我們生產電子級多晶矽的成本直接降低了30%,現在我們這個產品,其中的關鍵指標達到了一個國際領先的水平,實現了國產替代。
解jie決jue了le上shang遊you多duo晶jing矽gui的de問wen題ti,龍long門men實shi驗yan室shi繼ji續xu往wang下xia遊you單dan晶jing矽gui攻gong關guan。之zhi前qian,麥mai斯si克ke公gong司si一yi直zhi被bei超chao低di阻zu重zhong摻chan砷shen和he磷lin的de矽gui片pian研yan發fa卡ka著zhe脖bo子zi,這zhe種zhong單dan晶jing矽gui片pian廣guang泛fan應ying用yong於yu集ji成cheng電dian路lu和he高gao端duan功gong率lv器qi件jian中zhong,市shi場chang需xu求qiu量liang很hen大da,但dan要yao求qiu也ye高gao。
麥斯克電子材料股份有限公司副總經理 胡曉亮:摻雜難度是非常大的,摻入的雜質元素一多,就長不成單晶這種情況。
記者:等於龍門實驗室加進來一下子就解決了?
麥斯克電子材料股份有限公司副總經理 胡曉亮:對dui對dui對dui對dui,一yi下xia子zi豁huo然ran開kai朗lang,我wo們men有you實shi戰zhan經jing驗yan,而er他ta們men在zai熱re場chang和he優you化hua上shang,通tong過guo它ta的de模mo擬ni仿fang真zhen軟ruan件jian計ji算suan,所suo以yi雙shuang方fang配pei合he確que實shi取qu得de了le一yi個ge很hen大da的de進jin展zhan。
記者:那帶來的經濟效益呢?
麥斯克電子材料股份有限公司副總經理 胡曉亮:我們已經有產出了,非常不愁銷路,(假如)常規的產品一片賣100塊,它呢在150塊以上,國內還沒有批量供應市場的企業。
記者:我們算第一家。
麥斯克電子材料股份有限公司副總經理 胡曉亮:我們是第一家,對。
借助“企業出題+實驗室答題”的創新模式,龍門實驗室不斷取得新成果: “油莎豆高效聯合收獲機”和“果園智能除草機器人”已經通過國家農機具質量監督檢驗中心專家的現場試驗測試,即將量產;“無人植物工廠成套智能作業機器人及管控係統”、“新能源客車高效動力係統關鍵技術及應用”等項目正按節點穩步推進。
龍門實驗室副主任 馬明星:我(wo)們(men)項(xiang)目(mu)的(de)立(li)項(xiang)和(he)遴(lin)選(xuan)機(ji)製(zhi),一(yi)定(ding)要(yao)是(shi)企(qi)業(ye)出(chu)題(ti),然(ran)後(hou)摸(mo)清(qing)楚(chu)產(chan)業(ye)的(de)需(xu)求(qiu),雙(shuang)方(fang)共(gong)同(tong)來(lai)確(que)定(ding)到(dao)底(di)我(wo)們(men)的(de)風(feng)口(kou)產(chan)業(ye)項(xiang)目(mu)的(de)整(zheng)個(ge)的(de)研(yan)發(fa)方(fang)向(xiang)是(shi)什(shen)麼(me),保(bao)證(zheng)我(wo)們(men)不(bu)會(hui)為(wei)了(le)研(yan)究(jiu)而(er)研(yan)究(jiu),真(zhen)正(zheng)地(di)把(ba)整(zheng)個(ge)的(de)科(ke)技(ji)創(chuang)新(xin)落(luo)實(shi)到(dao)產(chan)業(ye)上(shang),能(neng)在(zai)它(ta)的(de)延(yan)鏈(lian)補(bu)鏈(lian)或(huo)者(zhe)整(zheng)個(ge)產(chan)業(ye)鏈(lian)高(gao)端(duan)化(hua)這(zhe)一(yi)塊(kuai)能(neng)做(zuo)出(chu)來(lai)一(yi)些(xie)實(shi)實(shi)在(zai)在(zai)的(de)貢(gong)獻(xian)。
